Bücher aus dem Jahr 2004

Ein 3D-Mikrotaster für dimensionelle Messungen an Mikrostrukturen wurde mit Verfahren der Mikrotechnik entwickelt. Der mikrotechnisch gefertigte Taster basiert auf einer Silizium-Boss-Membran mit piezoresistiven Elementen. Ziel dieser Arbeit ist der Entwurf eines piezoresistiven 3D-Mikrotasters zur Angleichung und Verringerung der Antastkräfte in allen drei Raumrichtungen. Ferner soll der 3D-Mikrotaster unempfindlich gegenüber Temperaturschwankungen sein. Der Schwerpunkt der Arbeit liegt dabei sowohl auf dem Entwurf eines hochauflösenden 3D-Mikrotasters als auch in der Entwicklung einer metrologischen Charakterisierungsmethode für Taster. (Quelle: Shaker Verlag)

Die Dissertation leistet einen Beitrag hinsichtlich der multisensoriellen Anwendung von Koordinatenmessgeräten. Den Integrationsarbeiten des optischen 3D-Sensors diente ein Multisensorkoordinatenmessgerät der Firma Werth Messtechnik als Basis, welches werksseitig mit einem taktilen Taster, einer Bildverarbeitungseinheit und einem Video-Autofokussensor ausgestattet ist. Durch die Integration des Streifenprojektionssystems konnte das Multisensorkoordinatenmessgerät um die Funktionalität der flächigen dreidimensionalen Antastung mit der zielsetzung der genauen 3D-Formerfassung erweitert werden. (Quelle: Shaker Verlag)